红外探测器装配中漏气速率的检测

   在红外探测器的装配过程中，提高漏气速率的检测标准，海宁高容器过滤器通过氦质谱检漏仪对零部件进行漏率检测，筛选和剔除有隐患的零部件。

　　加工成形的表面在微观下，高低不平，实际表面积很大，提高表面光洁度，可以减少出气量。表面处理是提高表面光洁度的有效途径，对真空夹层内表面进行处理，一般采用电解抛光化学抛光、研磨，以及量子钝化处理技术。同时，尽量减少真空夹层内采用高放气材料和封装工艺，胶粘是巨大的放气源需要特别关注。

　　高温真空处理是将零部件表面吸附的气体释放出来，零部件的高温真空处理是一种预处理过程。将零部件放在真空箱环境中，进行预抽一定时间，达到规定的真空度时，对产品进行加热烘烤，加热系统保证产品的温度均匀，加热温度严格控制在规定的温度，同时还需要增加超温保护控制，防止在加热温度过高造成红外器件损坏。当杜瓦内或系统真空度达到规定的值后，以及连续排气时间达到规定要求时，进行真空封结。

　　安装吸气剂可以进一步确保封装的真空完善性。大多数金属材料中含有H2，H2是在冶炼过程中熔入的，在抽真空封口以后，会有H2继续释放出来。对H2有良好吸气作用的一氧化钯（PdO），实用的吸气剂是一种由粉状PdO与多孔填充剂混合制成的粒状物质。吸气剂可进行激活处理，使吸气剂中吸附的气体释放并被真空机组抽走，激活的吸气剂便封结在真空夹层内，吸收夹层的出气和微小漏气，保持真空夹层高的真空度。吸气剂激活次数有限，吸气速率和吸气量随着激活次数而衰减。